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主要指标半导体石墨的选择

2022-07-07 16:51:38

正级烧结石墨闸钵半导体行业是一个新兴的科技产业,近年来备受关注,越来越多的公司开始进入半导体行业,而石墨已经成为半导体行业发展不可或缺的材料之一。半导体需要使用石墨的导电性,因为石墨的含碳量越高,导电性就会越好,一般需要考虑的指标有:粒度、耐热性、纯度。

粒度对应不同的网格数,规格用网格数表示。网格是孔的数量,每平方英寸孔的数量。一般网孔x孔径(微米)=15000。导电石墨的网目尺寸越大,颗粒尺寸越小,润滑性能越好,可用于润滑材料生产领域。半导体行业所用的粒度应该非常细,因为更容易实现加工精度,抗压强度高,损耗比较小,特别是对于烧结模具,要求加工精度高。

粒度分布如:20目、40目、80目、100目、200目、320目、500目、800目、1200目、2000目、3000目、5000目、8000目、12500目,小可为15000目。

许多产品在半导体行业的应用都是需要连续加热的,为了延长器件的使用寿命,这就要求导电石墨具有以下性能:优良的可靠性和耐高温冲击性能。

半导体工业生产石墨的要求是:纯度越高越好,特别是两者之间接触的石墨器件,如果杂质太多,会污染半导体材料。因此,我们需要严格控制导电石墨的纯度,还需要将其经过高温石墨化工艺,以大限度地降低灰级。


正级烧结石墨闸钵

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