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石墨坩埚在半导体行业的应用可谓举足轻重,其独特的性能和广泛的应用领域使其成为半导体制造过程中的关键工具。
在半导体制造过程中主要用于承载和保护半导体元件,确保其在高温环境下的稳定性和安全性。通过石墨坩埚底部的把手和固定支架,可以方便地放置和固定大量的半导体元件,实现高效的生产流程。
作为一种理想的导热和导电体,能够有效地将热量和电流从设备外部传导到内部的半导体元件上。这种高效的传输机制有助于实现对半导体元件的准确加热和电流控制,从而提高半导体器件的性能和质量。
石墨坩埚可以容纳大量的半导体元件,使得设备能够同时处理多个元件,从而显著提高了生产效率。此外,石墨坩埚的高导热性和高导电性使得加热过程更加迅速和均匀,进一步缩短了生产周期。
石墨坩埚在半导体表面处理中扮演着重要角色。例如,通过加热石墨坩埚中的有机物,可以形成一层薄膜来处理半导体片的表面。这种处理方法可以大大减少废物的产生,降低能源消耗,并提高处理效率。同时,石墨坩埚的双壁柱设计可以严格控制表面处理的温度,使得处理工艺更加准确。
石墨坩埚在半导体行业的应用广泛而重要。其独特的性能和广泛的应用领域使其成为半导体制造过程中的关键工具,不仅提高了生产效率,还保证了半导体器件的性能和质量。
. 优异的耐高温性能:能够承受极高的温度,其熔点高达3650℃,沸点更是高达4827℃
. 良好的导热性:导热性佳,能够迅速将热量均匀地传导到坩埚的各个部位
. 出色的化学稳定性:对酸、碱等腐蚀性物质具有较强的抵抗能力,不易被腐蚀或损坏
. 较高的机械强度:具有较高的机械强度,能够承受一定的压力和冲击
. 良好的热震稳定性:能够保持较好的热震稳定性,不易因温度极速变化而产生裂纹或损坏
. 环保无污染:使用过程中不会产生有害气体或废弃物,对环境无污染
材质 | XY6300 | XY6340 | XY6500 | XY6510 | XY6650 | XY6710 |
体积密度(g/cm³) | 1.73 | 1.72 | 1.77 | 1.83 | 1.84 | 1.88 |
硬度(HSD) | / | / | / | / | / | / |
电阻率(μΩ·m) | 16 | 12 | 14 | 13 | 14 | 10 |
抗折强度(MPa) | 40 | 45 | 50 | 60 | 65 | 85 |
抗压强度(MPa) | 85 | 90 | 110 | 130 | 150 | 170 |
拉伸强度(MPa) | / | / | / | / | / | / |
弹性模量(GPa) | 10 | 11 | 10.5 | 11.5 | 12.5 | 13.5 |
热膨胀系数(10-6/K) | 2.7 | 3.2 | 4.2 | 4.2 | 4.1 | 4.7 |
导热率(W/(m·K)) | 70 | 105 | 95 | 110 | 100 | 110 |
灰分(ppm) | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
标准尺寸(mm) | 1230*500*400 | 1230*480*260 | 610*390*260 |