宜昌PECVD石墨舟

所属分类：宜昌光伏/半导体用途
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发布日期：2023-06-02 09:41:11

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产品概述
性能特点
技术参数

石墨舟是太阳能单晶硅、多晶硅电池片的制作过程镀膜用载体。应用于光伏管坯及板坯工艺太阳能电池片镀膜、PECVD多晶硅太阳能电池。石墨舟就是石墨模具，石墨模具本身是一种载体，可以把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成。所以石墨模具有时称为石墨舟，也称为石墨船。

PECVD 作为镀膜常用的工艺之一，被广泛用于半导体、太阳能电池片的生产工艺中。作为硅片的载体，石墨是理想的材料之一，对表面膜的均匀性、色差等产生至关重要的作用，要求其有高纯度、耐腐蚀、极好的抗弯强度和良好的导电系数。

1.采用当下最有优势的高精密加工设备，配备专业工艺人员，保障使用中硅片表面不产生“彩片”。

2.采用提纯等静压石墨材料制作，杂质含量低，强度高。

3.陶瓷组装件采用99.9陶瓷，防腐蚀性能强，不易爆裂。

4.执行严格的全工序品质控制，保证每个配件的精度。

5.能完全匹配主流设备厂商的沉积炉型。