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一、简介单晶炉石墨加热器是用于单晶硅等高纯度材料制备过程中的关键设备。它采用石墨材料作为加热元件,通过石墨材料的电阻发热特性,将电能转化为热能,从而实现对单晶硅等材料的加热处理。单晶炉石墨加热器在半导体材料制备领域具有广泛的应用,其稳定性和
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